本实用新型涉及一种振动辅助的纳米辊压装置,首先，将机架水平放置于实验台上，然后调节X‑Y轴位移平台使Z向振动装置位于压印辊的正下方，再将已涂胶衬底固定于衬底卡盘中心，调节微调装置使压印辊水平，然后控制Z轴位移平台下移使压印辊与压印胶微接触，启动加热装置对衬底进行加热，加热完毕后开始压印，压印同时Z向振动装置开始振动，然后冷却脱模，最后控制Z轴位移平台上升，压印结束。本实用新型中采用Z向振动装置，使模板与压印胶之间产生间隙接触，减少两者之间的粘附力，通过多次间隙接触进行摩擦产热，使得压印胶融化流动，提高压印胶的填充度，再通过微调装置调节压印辊水平，冷却装置进行降温，进一步提高微纳结构的精度与保真度。