一种制备分级微结构的纳米压印装置
成果名称: 一种制备分级微结构的纳米压印装置 所属领域: 先进制造
成果类型: 技术成果 知识产权类型:
技术成熟度: 研发阶段 技术特点:
成果权属: 单位 成果单位: 长春工业大学
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所在地: 吉林省长春市 发布人:

                       本实用新型公开了一种制备分级微结构的纳米压印装置,包括放卷辊、衬底、张紧辊、处理腔、支撑辊一、支撑辊二、支撑辊三、调节装置一、可调换式涂胶装置、红外线加热装置、调节装置二、换辊装置、背辊、刻蚀腔、导向辊和收卷辊,其中,放卷辊与收卷辊对衬底进行放卷和收卷,所有支撑辊及背辊进行支撑,调节装置一和调节装置二分别对可调换式涂胶装置及换辊装置进行调节,处理腔和刻蚀腔分别对衬底进行处理与刻蚀,红外线加热装置对光刻胶加热,导向辊对衬底进行导向,换辊装置进行压印辊的调换,共同协作完成压印流程。本实用新型解决了制备分级微结构需要多次模板对齐所需时间较长和对齐时易产生误差的问题,可以准确而又快速高效的制备分级微结构。