一种基于可升降平台的辊对平面紫外纳米压印装置
成果名称: 一种基于可升降平台的辊对平面紫外纳米压印装置 所属领域: 先进制造
成果类型: 技术成果 知识产权类型:
技术成熟度: 研发阶段 技术特点:
成果权属: 单位 成果单位: 长春工业大学
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所在地: 吉林省长春市 发布人:

                       本实用新型涉及一种基于可升降平台的辊对平面紫外纳米压印装置,属于紫外纳米压印光刻领域。调节装置通过螺钉固定在主机架上部的滑块三和滑块四上,可升降平台的步进电机一固定于机架内部,并通过与支撑杆轴承配合固定于机架上,工作平台的Y轴工作平台方向指向可升降平台,工作平台通过螺钉固定于机架中央的底板上,运输装置一和运输装置二通过螺栓分别固定于机架的两侧,紫外灯固定于机架的支撑梁上,干蚀刻装置与机架由螺钉连接,固定于机架右侧的通道中。优点是结构新颖,压印装置相较于以往的滚对平面压印装置有更高的生产效率;使得模板与衬底更好的共形接触;减少了紫外曝光过程中热应力较大对模板和衬底的损伤。