本发明公开了一种贴片式盘形结构超声波啮合马达，以解决现有超声波马达存在传动效率较低、摩擦磨损严重、使用寿命短等问题。本发明的贴片式盘形结构超声波啮合马达包括柔性圆盘、刚性轴和激振元件。柔性圆盘为具有微型内齿的盘形结构弹性体，刚性轴为具有微型外齿的刚性阶梯圆轴，柔性圆盘的微型内齿齿数大于刚性轴的微型外齿齿数且互质，激振元件为压电陶瓷片，通过胶粘或冷焊工艺均布固结于柔性圆盘的表面，激励柔性圆盘产生径向微幅的伸缩振动，利用振动耦合产生驱动行波，通过微型小齿啮合传动实现刚性轴的旋转运动输出。本发明具有易于微型化、传动效率较高、适合连续性长时间工作等优点，在精密驱动与定位控制领域具有广泛的应用前景。