单钩型位移转换机构压电粘滑直线电机及其激励方法
成果名称: 单钩型位移转换机构压电粘滑直线电机及其激励方法 所属领域: 先进制造
成果类型: 知识产权 知识产权类型:
技术成熟度: 研发阶段 技术特点:
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所在地: 吉林省长春市 发布人:

                       一种单钩型位移转换机构压电粘滑直线电机及其激励方法,以解决当前压电粘滑直线电机由于摩擦力综合调控困难所导致的输出机械性能受限等问题。本发明由加载机构、单钩型定子和动子组成;所述定子的单钩型菱形位移放大转换机构具有微位移放大功能,由于其轴向刚度分布不均产生侧向位移的同时又增大了摩擦驱动力,减小了摩擦阻力;同时将摩擦调控波耦合叠加于单钩型定子快速变形阶段的锯齿驱动波中,从而降低快速变形阶段定、动子间摩擦阻力,实现对摩擦力的综合调控,显著提升压电粘滑直线电机的机械输出特性。本发明因具有结构简单紧凑、装配方便、定位精度高以及行程不受限等优点可广泛应用于半导体加工等微纳精密驱动与定位技术领域。