一种菱形铰链斜槽式正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法，以解决当前压电粘滑直线马达由于摩擦力综合调控困难所导致的输出机械性能受限等问题。本发明由预紧力调节装置、定子和动子组成；所述定子利用斜槽式菱形运动转换器来产生侧向位移，增大了摩擦驱动力，减小了摩擦阻力，所产生的侧向位移通过驱动足实现动子驱动；同时将摩擦调控波耦合叠加于定子快速变形阶段的锯齿驱动波中，降低了快速变形阶段定、动子间摩擦阻力，降低了位移回带率，显著提升压电粘滑直线马达的机械输出特性。本发明因具有结构紧凑、控制简单、定位精度高等优点，可广泛应用于半导体加工与光学精密仪器等先进技术领域中。