斜梯型振幅放大机构压电粘滑直线电机及其激励方法
成果名称: 斜梯型振幅放大机构压电粘滑直线电机及其激励方法 所属领域: 先进制造
成果类型: 技术成果 知识产权类型:
技术成熟度: 研发阶段 技术特点:
成果权属: 单位 成果单位: 长春工业大学
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所在地: 吉林省长春市 发布人:

                       一种斜梯型振幅放大机构压电粘滑直线电机及其激励方法,以解决当前压电粘滑直线电机由于摩擦力综合调控困难所导致的输出机械性能受限等问题。本发明由基座、预加载组件、斜梯型定子和动子组成;所述定子的斜梯型振幅放大转换机构可实现微位移放大,利用其轴向刚度分布不均产生侧向位移的同时,既可增大摩擦驱动力,又可减小摩擦阻力。同时将摩擦调控波耦合叠加于斜梯型定子快速变形驱动阶段的锯齿驱动波中,从而降低快速变形驱动阶段定、动子间摩擦阻力,实现对摩擦力的综合调控,提升压电粘滑直线电机的机械输出特性。本发明因具有结构紧凑、装配方便、定位精度高以及行程大等特点可以广泛应用于半导体加工等微纳精密驱动与定位技术领域。