非对称菱形铰链正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法
成果名称: 非对称菱形铰链正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法 所属领域: 先进制造
成果类型: 技术成果 知识产权类型:
技术成熟度: 研发阶段 技术特点:
成果权属: 单位 成果单位: 长春工业大学
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所在地: 吉林省长春市 发布人:

                       一种非对称菱形铰链正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法,以解决当前压电粘滑直线马达由于摩擦力综合调控困难所导致的输出机械性能受限等问题。本发明由加载平台、定子和动子组成;所述定子利用非对称菱形运动转换器产生侧向位移,增大了摩擦驱动力,减小了摩擦阻力,所产生的侧向运动通过定子驱动足驱动动子运动;同时将摩擦调控波耦合叠加于定子快速变形阶段的锯齿驱动波中,降低快速变形阶段定、动子间摩擦阻力,降低位移回带率,显著提升压电粘滑直线马达的机械输出特性。本发明因具有结构紧凑、定位精度高等优点,在微纳操作、半导体加工以及精密光学仪器等具有结构微型化、定位精度要求高的领域中具有很好的应用前景。