一种红荧烯薄膜自组装有序图案化生长制备的方法
成果名称: 一种红荧烯薄膜自组装有序图案化生长制备的方法 所属领域: 先进制造
成果类型: 技术成果 知识产权类型:
技术成熟度: 研发阶段 技术特点:
成果权属: 单位 成果单位: 长春工业大学
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所在地: 吉林省长春市 发布人:

                       本发明是一种红荧烯薄膜自组装有序图案化生长制备的方法,即在真空氛围中,在SiO2层之上沉积红荧烯层,通过沉积、停歇的多次循环,实现自组装排列的孔状图案化红荧烯薄膜,红荧烯聚集处为半导体的导电沟道部分,而红荧烯未聚集的孔洞处是不导电部分。从而实现免去光刻的自组装图案化生长,达到有序、可控图案化生长的目的。