斜楔式菱形放大机构压电粘滑直线电机及其激励方法
成果名称: 斜楔式菱形放大机构压电粘滑直线电机及其激励方法 所属领域: 先进制造
成果类型: 技术成果 知识产权类型:
技术成熟度: 研发阶段 技术特点:
成果权属: 单位 成果单位: 长春工业大学
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所在地: 吉林省长春市 发布人:

                       一种斜楔式菱形放大机构压电粘滑直线电机及其激励方法,以解决当前压电粘滑直线电机由于摩擦力综合调控困难所导致的输出机械性能受限等问题。本发明包括预压力调节机构、斜楔式定子和动子;所述定子的斜楔式菱形运动转换机构具有微位移放大功能,由于其轴向刚度分布不均既产生侧向位移,又可增大摩擦驱动力和减小摩擦阻力;同时将摩擦调控波耦合叠加于斜楔式定子快速变形驱动阶段的锯齿驱动波中,降低快速变形驱动阶段定、动子间摩擦阻力,实现对摩擦力的综合调控,提升压电粘滑直线电机的机械输出特性。本发明因具有结构简单紧凑、易装配、控制方便、定位精度高以及行程大等优点可以广泛应用于半导体加工等微纳精密驱动与定位技术领域。