"1.面向先进轨道交通装备创新发展、集成电路及关键元器件零部件核心技术攻关等国家战略需求,开展MEMS振动能量采集芯片设计、加工工艺和封装测试等研究;探索MEMS振动能量采集芯片在铁路货车智能监测领域的推广应用,实现自供电前沿技术的应用突破;研制基于MEMS振动能量采集芯片的自供电无线化智能传感系统,开展轨道交通、物联网、人工智能等多领域的产业化应用。2.主要技术指标:芯片尺寸(长度*宽度*厚度):≤12mm*3mm*3mm线圈线宽:≤40μm,线圈线间距:≤25μm,线圈匝数:≥150匝,线圈电阻:≤40Ω,线圈电感:≥38μH,输出电压:≥50mV@6.5g&37Hz,输出功率:≥35μW@6.5g&37Hz"